汽車壓力傳感器方案
利用半導體材料的壓阻效應和良好的彈性，通過集成電路工藝和MEMS加工工藝研制出了硅壓阻傳感器，目前硅壓阻最小尺寸可以做到0.5*0.5mm以內，這樣一片8寸晶圓上就可以切割出近10萬支壓力傳感器。硅壓阻傳感器作為微型傳感器中的一種，具有尺寸小，產量高、成本低、過…
2022-06-15 07:45:21 |
 |
 |
 |
 |
 |
|
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
利用半導體材料的壓阻效應和良好的彈性，通過集成電路工藝和MEMS加工工藝研制出了硅壓阻傳感器，目前硅壓阻最小尺寸可以做到0.5*0.5mm以內，這樣一片8寸晶圓上就可以切割出近10萬支壓力傳感器。硅壓阻傳感器作為微型傳感器中的一種，具有尺寸小，產量高、成本低、過…
2022-06-15 07:45:21
手機圖頁網
