第1年
上海伯東 氦質譜檢漏儀 ASM 390, AS
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 60P
HVA 高真空閘閥 高真空插板閥 11000
上海伯東 磁懸浮渦輪分子泵 HiPace
HVA 3位真空閘閥 真空插板閥 21700
上海伯東 磁懸浮渦輪分子泵 HiPace
HVA 矩形閥 28200系列
上海伯東 氦質譜檢漏儀 ASM 340
上海伯東 模塊化氦質譜檢漏儀 ASI 3
- 材質：
- 不銹鋼
因產品配置不同，價格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實際成交合同為準。
HVA 矩形閥 88200 系列
上海伯東美國 HVA 矩形閥門 88200系列矩形板閥是采用了直連驅動技術的接口閥，可靠使用壽命超過1百萬次。HVA 閘板閥專用于真空相關系統，起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小，設計緊湊，可靠應用于生產線與過渡腔室（load-lock chamber），過渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統（handling system），傳輸系統（handling system）與工藝腔室（process chamber）等等，需要分隔真空壓力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板閥產品特點
1. 超百萬次可靠運行壽命
2. 不產生粉末，顆粒，防塵設計
3. 閥動作平穩,振動和沖擊小
4. 標準接口，或按客戶要求定制
5. 閥體材料經過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下
HVA 88200 系列矩形真空板閥技術參數
連接形式： | 標準或定制法蘭 |
|---|---|
主體材料： | 鋁 |
公稱通徑： | DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
漏率: | 2x10E-9 AtmCC/Sec |
壓力范圍: | 1x10E-9 Torr |
烘烤溫度: | 《150℃ |
適用介質： | 水、蒸汽、空氣 |
密封形式： | 軟密封型 |
驅動方式： | 氣動 |
使用壽命: | 1000000 啟閉次數 |
28200＆88200系列矩形真空板閥訂貨號及2D & 3D 圖
DN | Model |
|
| |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
mm | inch | Number | J (Bolted Body) | K (Clamped Body) | ||||
32 x 220 | 1.26 x 8.74 | 28212-0109RX_ | ||||||
32 x 332 | 1.26 x 13.07 | 28212-0113RX_ | ||||||
46 x 236 | 1.81 x 9.29 | 28212-0209RX_ | ||||||
50 x 336 | 1.97 x 13.23 | 28212-0213RX_ | ||||||
HVA 28200＆88200 系列矩形真空板閥部件圖
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